1 高頻感應(yīng)等離子體發(fā)生器 又稱高頻等離子體炬，或稱射頻等離子體炬。它利用無電極的感應(yīng)耦合，把高頻電源的能量輸入到連續(xù)的氣流中進行高頻放電。

2 電弧等離子體發(fā)生器 又稱電弧等離子體炬，或稱等離子體噴槍，有時也稱電弧加熱器。它是一種能夠產(chǎn)生定向“低溫”（約 2000～20000開）等離子體射流的放電裝置。

3 低氣壓等離子體發(fā)生器 一種低氣壓氣體放電裝置，一般由三部分組成：產(chǎn)生等離子體的電源、放電室、抽真空系統(tǒng)和工作氣（或反應(yīng)氣）供給系統(tǒng)。

通常有四類：靜態(tài)放電裝置、高壓電暈放電裝置、高頻（射頻）放電裝置和微波放電裝置。