產(chǎn)品介紹

?TS-PL15MA/P 晶圓等離子刻蝕機高配版

1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm

2.電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金? ? 功率電極：1? ? 接地電極：1

3. 電極尺寸：230mm *230mm（最大可處理產(chǎn)品尺寸，可處理8寸晶圓）

4. 頻率：13.56MHz

5. 功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)。

6. 氣體控制：MFC質(zhì)量流量計， 0-500ml 2路氣體

7. 真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)（SMC）

8. 控制方式：7寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式

9. 控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)

10.設(shè)備規(guī)格尺寸：長600mm 寬600mm 高700mm

11.電極板配置：配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調(diào)整，可按需求調(diào)整極板位置

TS-PL15MA 晶圓等離子刻蝕機標準版

1.真空腔規(guī)格: 材質(zhì)316不銹鋼 L270mm*W280mm*H200mm

2.電極：平板氣浴電極，材質(zhì)6061-T6鋁合金? ? 功率電極：1? ? ? 接地電極：1

3. 電極尺寸：230mm *230mm（最大可處理產(chǎn)品尺寸，可處理8寸晶圓）

4. 頻率：13.56MHz

5. 功率：0-300W連續(xù)可調(diào)，可在設(shè)備運行中隨時調(diào)整參數(shù)。

6. 氣體控制：精密針閥式浮子流量計， 0-1000ml 2路氣體

7. 真空度測量儀器： 2色顯示式高精度數(shù)字式壓力開關(guān)（SMC）

8. 控制方式：4.3寸工業(yè)控制觸摸屏，全手動控制和全自動控制兩種控制方式

9. 控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態(tài)

10.設(shè)備規(guī)格尺寸：長600mm 寬600mm 高700mm

11.電極板配置：配備3個卡槽位（接地電極），極板間距離可調(diào)整，可按需求調(diào)整極板位置