等離子體處理儀
- 產(chǎn)品編號(hào)：TS-PL60MA
- 產(chǎn)品規(guī)格： 等離子體清洗儀
- 產(chǎn)品用途：
生物芯片領(lǐng)域；高分子材料研究
產(chǎn)品介紹
|
型號(hào) |
TS-PL60MA |
|
外形尺寸（WDH)mm |
1000*1030*1630 |
|
射頻電源 |
13.56MHz |
|
真空腔體 |
進(jìn)口316不銹鋼，軍工級(jí)密封 |
|
腔體尺寸 |
W400×H400×D450mm |
|
工作真空度 |
5-70Pa |
|
真空泵 |
?油泵/干泵（選配） |
|
真空管路組件 |
全不銹鋼管路+波紋管 |
|
內(nèi)置水平式電極 |
380*380*15mm |
|
氣體流量監(jiān)測(cè)系統(tǒng) |
質(zhì)量流量控制器 0-500ML |
|
氣體通道 |
2路，支持氧氣，氬氣，氮?dú)?，氫氣，四氟化碳?/p> |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
等離子體處理儀是通過(guò)利用對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態(tài)，利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。
等離子體清洗儀產(chǎn)品特點(diǎn)：
不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型，對(duì)金屬、半導(dǎo)體和大多數(shù)高分子材料，如聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。