大型真空等離子清洗機(jī)
- 產(chǎn)品編號(hào)：TS-PL700MA
- 產(chǎn)品規(guī)格： 大型等離子清洗機(jī)
- 產(chǎn)品用途：
適用于大規(guī)模連續(xù)生產(chǎn)，汽車(chē)內(nèi)飾件等大尺寸產(chǎn)品處理
產(chǎn)品介紹
大型真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品參數(shù)：
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名稱(chēng) |
大型等離子清洗機(jī) |
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型號(hào) |
TS-PL700MA |
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外形尺寸（W×D×H） |
1400×650×800mm |
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反應(yīng)腔尺寸（W×H×D） |
2300×1250×1850mm |
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真空腔體材料 |
進(jìn)口316L不銹鋼 |
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真空泵 |
進(jìn)口品牌、二級(jí)泵 （干泵+羅茨組合） （油泵+羅茨組合） |
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角閥 |
Youch 超高真空60KF |
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流量控制儀及顯示儀 |
Sevenstar 0-800ml/min |
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真空顯示規(guī)管及讀取器 |
Pirani |
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射頻電源 |
40KHZ? /13.56MHZ? |
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PLC系統(tǒng) |
三菱（包括PLC，A/D模組兩組，D/A模組兩組，溫度模塊） |
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電器系統(tǒng) |
施耐德 |
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變頻器 |
西門(mén)子2KW |
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觸摸屏 |
臺(tái)灣威綸真彩10.7寸 |
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陶瓷封裝 |
進(jìn)口高頻陶瓷 |
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處理氣體 |
O2、Ar2、N2，H2、CF4 |
大型等離子清洗機(jī)產(chǎn)品介紹：
大型等離子清洗機(jī)具有超大型真空處理腔室，適合大尺寸產(chǎn)品批次處理。等離子清洗機(jī)工作原理：在壓力到達(dá)設(shè)定壓力時(shí)，充入工藝氣體，當(dāng)腔內(nèi)壓力進(jìn)出動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，利用等離子電源產(chǎn)生的中高頻交變電磁場(chǎng)激發(fā)生成等離子體，對(duì)被清洗工件表面進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過(guò)抽真空排出，而達(dá)到清洗目的。
大型真空等離子清洗機(jī)的工作流程如下：
(1) 打開(kāi)艙門(mén)，將待清洗零件放置在支架上；
(2) 關(guān)好艙門(mén)，檢查真空系統(tǒng)是否已經(jīng)全部密封，隨后啟動(dòng)機(jī)械泵開(kāi)始對(duì)反應(yīng)腔體抽氣，使真空度低于 50Pa ；
(3) 按工藝要求即需要清除的污染物類(lèi)型，選擇相關(guān)氣體種類(lèi)具體可參照第二章 第四小節(jié)、根據(jù)抽氣速度設(shè)定充氣流量，并開(kāi)始充氣；
(4) 等到反應(yīng)腔體內(nèi)部的壓強(qiáng)穩(wěn)定后，輸入輸出功率打開(kāi)射頻電源，通過(guò)石英窗 可以觀(guān)察到腔體內(nèi)部開(kāi)始產(chǎn)生等離子體后開(kāi)始計(jì)時(shí)；
(5) 清洗時(shí)間到，關(guān)閉射頻電源，關(guān)閉真空泵，放氣，待腔體內(nèi)部氣壓恢復(fù)到大氣壓后打開(kāi)艙門(mén)取出零件。
