PDMS聚二甲基硅氧烷，縮寫(xiě)為 PDMS，這是一種有機(jī)硅類的聚合物，其得到了非常頻繁和廣泛的使用。所有有機(jī)硅都具有共同的重復(fù)硅氧烷單元，其分別由一個(gè) Si-O 基團(tuán)所組成。硅原子上可以結(jié)合很多側(cè)基團(tuán)。如果是?PDMS，這些側(cè)基團(tuán)則為甲基基團(tuán) CH3。聚合物可與各種?鏈末端結(jié)合。最常見(jiàn)的是三甲基甲硅烷氧基團(tuán) Si-SH3。僅由兩個(gè)末端基團(tuán)（無(wú)二甲基甲硅烷氧單體單元）組成的最短的分子是六甲基二硅氧烷?HMDSO，其作為疏水等離子涂層的工藝氣體是非常重要的。

PDMS 是線性聚合物，其分子量極高并呈液態(tài)。但是，其可以互相結(jié)合，并因此具有彈性特性。

PDMS 是一種幾乎為惰性并具有高抗氧化性的聚合物，其同樣可以在有機(jī)電子領(lǐng)域中用作電絕緣體（微電子或者聚合物電子），還可用于生物微分析領(lǐng)域。

低壓等離子體對(duì)于 PDMS 最常見(jiàn)的一種應(yīng)用便是微流體系統(tǒng)領(lǐng)域，應(yīng)用時(shí)按照客戶要求對(duì)指定的聚二甲基硅氧烷（例如：Sylgard 184）進(jìn)行結(jié)構(gòu)化，然后可以進(jìn)行等離子處理，并在玻璃板、硅表面或者其他基材上永久涂覆 PDMS 芯片。

對(duì)微流體系統(tǒng)進(jìn)行等離子預(yù)處理的優(yōu)點(diǎn)：

較短的工藝時(shí)間
PDMS 永久粘結(jié)至基材表面，借此形成微流體部件的不滲透型通道
PDMS 和基材表面的親水化，并借此完全潤(rùn)濕通道
形成親水-疏水區(qū)域

微流體系統(tǒng)的應(yīng)用：

從微觀層面對(duì)化學(xué)反應(yīng)和液體流動(dòng)進(jìn)行研究
檢測(cè)生物有機(jī)體
醫(yī)療檢查時(shí)快速的臨床診斷和藥物檢查

PDMS 預(yù)處理的工藝參數(shù)

工藝氣體： 氧氣 (O2) 或室內(nèi)空氣
壓力： 0.1 – 1.0 mbar
發(fā)生器： 13.56 MHz，功率介于 50 – 300 W 之間
工藝時(shí)間： 10 – 60 秒

PDMS鍵合設(shè)備，參考TS-SY05等離子處理機(jī)