等離子清洗的應(yīng)用，起源于20世紀(jì)初，隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用越來越廣，目前已在眾多高科技領(lǐng)域中，居于關(guān)鍵技術(shù)的地位。等離子清洗技術(shù)對(duì)產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟(jì)和人類文明影響最大，首推電子資訊工業(yè)，尤其是半導(dǎo)體業(yè)與光電工業(yè)。隨著越來越多行業(yè)應(yīng)用到等離子清洗機(jī)，怎么選擇適合自己的等離子清洗機(jī)就成為了人們的一個(gè)問題，今天我們就來談?wù)務(wù)婵盏入x子清洗機(jī)該如何選型。

真空等離子清洗機(jī)該如何選型，我們主要從以下幾個(gè)方面來考慮。

首先我們我們從腔體大小來確定等離子清洗機(jī)的型號(hào)，腔體大小主要從以下兩個(gè)方面予以考慮。

一、工件的大小

一般來說真空等離子清洗機(jī)的分類的話主要是按照腔體尺寸和腔體材質(zhì)來分的，選擇腔體尺寸時(shí)第一個(gè)要考慮的就是工件大小，也就是我們至少要能把工件放下去，如果工件連放都放不下去，再考慮其他因素也沒有多大的意義。

二、產(chǎn)能

任何產(chǎn)品如果有產(chǎn)能要求的話，肯定是需要根據(jù)產(chǎn)能來選腔體大小，腔體越大也就意味著一次能處理的產(chǎn)品也就更多，如果對(duì)產(chǎn)能沒有太多要求的話，優(yōu)先考慮工件大小。在工件能夠放下的前提下，我們?cè)诟鶕?jù)產(chǎn)能計(jì)算得出合適的腔體尺寸。

第二個(gè)我們要考慮的問題，就是選擇哪種頻率的等離子清洗機(jī)

頻率的選擇

目前常見的頻率有40KHz和13.56MHz，20Mhz。40kHz的自偏壓為1000V左右，13.56MHz自偏壓為250V左右，20MHz的自偏壓則更低，這三種激發(fā)頻率的機(jī)制不同，40kHz發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，13.56MHz發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，20MHz有物理反應(yīng)但更主要的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)，需要對(duì)材料進(jìn)行活化、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等離子體清洗40kHz的自偏壓為1000V左右，13.56MHz自偏壓為250V左右，20MHz的自偏壓則更低，這三種激發(fā)頻率的機(jī)制不同，40kHz發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，13.56MHz發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，20MHz有物理反應(yīng)但更主要的反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)，需要對(duì)材料進(jìn)行活化、改性的要用13.56MHz或者20MHz的等離子體清洗。

腔體材質(zhì)的選擇

目前常見的腔體材質(zhì)有以下幾種，石英腔體，不銹鋼腔體，鋁合金腔體，三種腔體各有各的優(yōu)勢(shì)，石英腔體溫度低，且不易發(fā)生反應(yīng)。鋁合金腔體的優(yōu)勢(shì)：1、 鋁合金密度低，強(qiáng)度高，超過優(yōu)質(zhì)鋼，機(jī)械加工性能比較好。 2、 鋁具有優(yōu)良的導(dǎo)電性、導(dǎo)熱性和抗蝕性。 3、材料對(duì)化學(xué)反應(yīng)的兼容性比較好，不易產(chǎn)生金屬污染、particle等。

真空泵的選擇

是選擇國(guó)產(chǎn)的泵，還是進(jìn)口的，是干泵還是油泵，是單級(jí)泵，還是雙極泵，每一種真空泵的選擇都可以根據(jù)客戶的實(shí)際需要來選取，這里就不做過多的贅述。

氣路的選擇

常見的真空等離子清洗機(jī)都是兩路氣體通道，但是這并不能滿足所有的處理需求，如果需要更多的反應(yīng)氣體，那么氣體通道就要適當(dāng)增加，這個(gè)也是根據(jù)客戶的實(shí)際需求來選擇幾路氣體通道。