? ?光學(xué)鏡片的鍍膜技術(shù)是整個(gè)光學(xué)系統(tǒng)的一個(gè)重要組成部分，良好的鍍膜技術(shù)能改善鏡片的折射率、阿貝數(shù)、散射、衍射和化學(xué)性能。光學(xué)薄膜真空鍍膜技術(shù)一般采用物理氣相沉積（PVD）技術(shù)，包括熱蒸發(fā)、濺射、離子鍍等方法。而在鍍膜前的光學(xué)鏡片一般須經(jīng)過離心力清洗機(jī)和超聲波清洗機(jī)清洗，但若想要得到超潔凈的基體表面，則需進(jìn)一步的采用等離子體清洗，離子鍍技術(shù)利用了物理氣相沉積技術(shù)和高能粒子的物理轟擊作用。開始鍍膜前，用離子束轟擊基片，可以改善基片表面的潔凈度和黏附性。鍍膜過程中，離子束的轟擊使基板表面溫度升高，活化的表面有利于薄膜的成核。可以通過對離子碰撞的控制來調(diào)控薄膜的組分，改善薄膜的性能，提高薄膜在基片表面的覆蓋率和密度。維持反應(yīng)腔內(nèi)的高氣壓可以提高薄膜蒸汽分子的散射率，從而在襯底上獲得高均勻性的薄膜。在一些應(yīng)用中，等離子體可以用于激活反應(yīng)物種，還可以用來產(chǎn)生在反應(yīng)沉積過程中更容易被吸附的新的化學(xué)生成物。