隨著高科技產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，各種工藝對使用產(chǎn)品的技術(shù)要求越來越高，等離子表面處理技術(shù)的出現(xiàn)，不僅改進了產(chǎn)品性能、提高了生產(chǎn)效率，更實現(xiàn)了安全環(huán)保效應(yīng)。等離子表面處理技術(shù)能夠在材料科學、高分子科學、生物醫(yī)藥材料學、微流體研究、微電子機械系統(tǒng)研究、光學、顯微術(shù)和牙科醫(yī)療等領(lǐng)域得到應(yīng)用。正是這種廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和巨大的發(fā)展空間使等離子表面處理技術(shù)迅速在國外發(fā)達國家發(fā)展起來，根據(jù)調(diào)查數(shù)據(jù)顯示：全球等離子表面處理設(shè)備總產(chǎn)值在2008年已達到3000億人民幣。然而我們不得不沉思是什么原因使等離子表面處理技術(shù)在短短的20幾年中發(fā)展的如此迅速。

（一）?等離子表面處理技術(shù)原理及應(yīng)用

等離子，即物質(zhì)的第四態(tài)，是由部分電子被剝奪后的原子以及原子被電離后產(chǎn)生的正負電子組成的離子化氣狀物質(zhì)。這種電離氣體是由原子，分子，原子團，離子，電子組成。其作用在物體表面可以實現(xiàn)物體的超潔凈清洗、物體表面活化、蝕刻?、精整以及等離子表面涂覆。??根據(jù)等離子體中存在微粒的不同，其具體可以實現(xiàn)對物體處理的原理也各不相同，加之輸入氣體以及控制功率的不同，都實現(xiàn)了對物體處理的多樣化。??因低溫等離子體對物體表面處理的強度小于高溫等離子體，能夠?qū)崿F(xiàn)對處理物體表面的保護作用，應(yīng)用中我們使用的多為低溫等離子體。并且各種粒子在對物體處理過程中所表現(xiàn)出來的作用也個不相同的，原子團（自由基）

主要是實現(xiàn)對物體表面化學反應(yīng)過程中能量傳遞的“活化”作用；電子對物體表面作用主要?包括兩方面：

一方面是對物體表面的撞擊作用，另一方面是通過大量的電子撞擊引起化學反?應(yīng)；離子通過濺射現(xiàn)象實現(xiàn)對物體表面的處理；紫外線通過光能使物體表面的分子鍵斷裂分解，并且增強穿透能力。

（二）?等離子表面處理技術(shù)的優(yōu)勢

等離子表面處理技術(shù)是干式處理法，替代了傳統(tǒng)的濕法處理技術(shù)具有以下優(yōu)勢：?1.?環(huán)保技術(shù)：等離子體作用過程是氣固相干式反應(yīng)，不消耗水資源、無須添加化學藥劑?2.?效率高：整個工藝能在較短的時間內(nèi)完成??3.?成本低：裝置簡單，容易操作維修，少量氣體代替了昂貴的清洗液，同時也無處理廢液成本??4.?處理更精細：能夠深入微細孔眼和凹陷的內(nèi)部并完成清洗任務(wù)??5.?適用性廣：等離子表面處理技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)對大多數(shù)固態(tài)物質(zhì)的處理，因此應(yīng)用的領(lǐng)域非常廣泛

（三）?等離子表面處理技術(shù)前景

隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，特別是通信產(chǎn)品、電腦及部件、半導體、液晶及光電子產(chǎn)品對超精密工業(yè)清洗設(shè)備和高附加值設(shè)備的比例要求逐步增大，等離子表面處理設(shè)備已經(jīng)成為很多電子信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)設(shè)備。并且隨著行業(yè)技術(shù)要求的不斷提高，等離子清洗技術(shù)將在國內(nèi)有更加廣闊的發(fā)展空間。??隨著汽車行業(yè)的高速發(fā)展，國外的很多生產(chǎn)廠家把目標所向中國市場，加之很多零配件的生產(chǎn)廠家也入住中國，這些都對清洗提出了新的技術(shù)要求，可以說等離子清洗技術(shù)更加適應(yīng)了汽車行業(yè)的發(fā)展。??醫(yī)療器械使用前的處理工藝非常精細，使用氟里昂清洗不但浪費資源而且成本也非常的昂貴，而等離子表面處理技術(shù)的使用避免了使用化學物質(zhì)的弊端，而且也更加適應(yīng)了現(xiàn)代醫(yī)療科技的技術(shù)要求。??光學器件和一些光學產(chǎn)品對清洗的技術(shù)要求非常高，等離子表面處理技術(shù)在此領(lǐng)域可以得到更加廣泛的運用。??等離子表面處理技術(shù)能夠應(yīng)用的行業(yè)非常廣泛，對物體的處理不單純的是清洗，同時可以進行刻蝕、和灰化以及表面活化和涂鍍。因此就決定了等離子表面處理技術(shù)必將有廣泛的發(fā)展?jié)摿?。也會成為科研院所、醫(yī)療機構(gòu)、生產(chǎn)加工企業(yè)越來越推崇的處理工藝。