等離子體清洗技術(shù)利用高能量等離子體的轟擊被清洗表面，通過物理作用使得污染物從金屬表面脫落，同時，電離氣體產(chǎn)生的活性粒子會與表面的有機物或者氧化物等發(fā)生化學(xué)反應(yīng)進而生成易于揮發(fā)的物質(zhì)，脫落物質(zhì)通過真空泵的抽氣作用排出以達到清洗的效果。