等離子體表面處理是指通過等離子體中的高能粒子對材料表面進(jìn)行轟擊，使表面物質(zhì)降解，增加表面粗糙度，若等離子體中有其他活性粒子，如氧等離子，則可與表面物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)而使表面活化的一種方法.