等離子體表面處理是指通過等離子體中的高能粒子對材料表面進行轟擊，使表面物質降解，增加表面粗糙度，若等離子體中有其他活性粒子，如氧等離子，則可與表面物質發(fā)生反應而使表面活化的一種方法.