小型真空等離子清洗機TS-PL30MA
- 產(chǎn)品編號：TS-PL30MA
- 產(chǎn)品規(guī)格： 真空等離子清洗機
- 產(chǎn)品用途：
材料表面活化改性
產(chǎn)品介紹
產(chǎn)品參數(shù)：
| 名稱? | TS-PL30MA |
| 設(shè)備外形尺寸 | W650×D750×H1500(mm) |
| 腔體尺寸 | W300xD350xH300(mm) |
| 腔體容量 | 30升 |
| 電極板數(shù)量 | 3層 |
| 電極固定方式 | 插拔可拆卸 |
| 等離子電源 | 13.56MHz/300W |
| 工作真空度 | 30Pa以內(nèi) |
| 腔體溫度 | 常溫 |
| 反應(yīng)氣體 | 2路，（氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體） |
基本構(gòu)造：
根據(jù)用途的不同，可選用多種構(gòu)造的等離子清洗設(shè)備，并可通過選用不同種類的氣體，調(diào)整裝置的特征參數(shù)等方法使工藝流程實現(xiàn)最佳化。 但等離子體清洗裝置的基本結(jié)構(gòu)大致是相同的， 一般裝置可由真空室、真空泵、高頻電源、電 極、氣體導入系統(tǒng)、工件傳送系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等 部分組成。通常使用的真空泵是旋轉(zhuǎn)油泵，高頻電源通常用13.56 MHz的無線電波。
等離子清洗機工作原理：
等離子清洗是依靠特定物質(zhì)等離子體中的高 能粒子流沖擊需要清潔的物體表面，產(chǎn)生物理沖擊（如氬等離子體）或化學反應(yīng)（氧等離子體）來實 現(xiàn)去除物體表面污漬的功能。目前，大多數(shù)等離子 清洗系統(tǒng)通過降低反應(yīng)倉的壓力到 100 Pa 以下， 然后以一定的速度通入合適的氣體并啟動電源來獲得等離子體。
