微納器件OLED導(dǎo)電玻璃PLASMA等離子清洗機(jī)親水性處理
- 產(chǎn)品編號(hào):TS-APR
- 產(chǎn)品規(guī)格: 東信高科
- 產(chǎn)品用途:
微納器件、導(dǎo)電玻璃
產(chǎn)品介紹
基片的清洗和預(yù)處理
OLED對(duì)ITO的要求
表面潔凈;表面平整;功函數(shù)較高。
有機(jī)層與ITO之間界面對(duì)發(fā)光性能的影響至關(guān)重要,ITO玻璃在使用前必須仔細(xì)清洗,目的是除去表面上物理
附著的污物和化學(xué)附著的有機(jī)物等。
ITO表面處理工藝
ITO的不均勻性將導(dǎo)致有機(jī)層不均勻,從而易形成局部強(qiáng)電場(chǎng)引起OLED中黑斑的產(chǎn)生。平整的ITO表面場(chǎng)強(qiáng)均勻,
減小短路的危險(xiǎn),提高OLED的穩(wěn)定性。
在沉積有機(jī)層之前,ITO表面必須進(jìn)行仔細(xì)的清洗,否則不能得到穩(wěn)定的OLED器件。
ITO 基片處理 ITO For OLED
ITO膜表面形態(tài)對(duì)OLED器件的性能
粗糙的ITO膜表面將使光線產(chǎn)生漫反射,減小出射光效率,降低OLED的外量子效率。
OLED加電壓時(shí),粗糙表面會(huì)影響OLED的內(nèi)電場(chǎng)分布。ITO表面的尖峰將導(dǎo)致局部高電場(chǎng),高電場(chǎng)將使激子解離成為正負(fù)載流子,
致使發(fā)光強(qiáng)度降低;而且高電場(chǎng)將加速有機(jī)材料的惡化,以至降低OLED的穩(wěn)定性。
ITO膜是有機(jī)物膜進(jìn)行淀積的基底, ITO膜的表面形態(tài)將影響有機(jī)膜的成膜的吸附性、內(nèi)應(yīng)力和結(jié)晶度。由于粗糙的表面將不利于有機(jī)分子之間內(nèi)聚形成晶體,
因而粗糙的表面易于形成不定形結(jié)構(gòu)的有機(jī)物薄膜。對(duì)于不定形結(jié)構(gòu)的有機(jī)物來說,結(jié)晶有機(jī)物的出現(xiàn)將增加電子與晶格碰撞的可能性,這將降低OLED器件的發(fā)光效率和能量效率。
等離子體處理
等離子體的作用通常是改變表面粗糙度和提高功函數(shù)。研究發(fā)現(xiàn),等離子作用對(duì)表面粗糙度的影響不大,只能使ITO的均方根粗糙度從1.8nm降到1.6nm,但對(duì)功函數(shù)的影響卻較大。
用等離子體處理提高功函數(shù)的方法也不盡相同。
氧等離子處理是通過補(bǔ)充ITO表面的氧空位來提高表面氧含量的。